FS4001系列實(shi)驗室氣(qì)體流量(liàng)傳感器(qi)

産品(pin)簡介：

FS4001系(xi)列實驗(yan)室氣體(tǐ)流量傳(chuan)感器 是專(zhuan)門爲各(gè)類小流(liú)量氣體(ti)的測量(liang)和過程(cheng)控制而(er)設計的(de)。這🐕一系(xi)列傳感(gǎn)器均采(cai)用本公(gong)司自主(zhǔ)研發的(de)微機電(dian)系統⁉️（ MEMS ）流量(liàng)傳感芯(xin)片來制(zhì)作。

FS4001系列(liè)實驗室(shì)氣體流(liú)量傳感(gǎn)器 适用于(yu)各類清(qīng)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuāng)技術使(shǐ)之可用(yòng)于各類(lèi)管徑，成(cheng)本低、易(yì)安裝、不(bu)需要溫(wēn)度壓力(lì)補償，可(kě)替代容(róng)積式或(huo)壓差式(shì)的傳統(tǒng)流量傳(chuan)感器。

産品特(te)點：
  - 傳感器(qi)靈敏度(dù)高 , 有極小(xiao)的始動(dong)流量
  - 傳感(gǎn)器芯片(piàn)采用熱(re)質量流(liú)量計量(liang) , 無(wu)需溫度(du)壓力補(bǔ)償 , 保證了(le)傳
  - 感器的(de)高精度(dù)計量
  - 在單(dan)個芯片(piàn)上實現(xiàn)了多傳(chuán)感器集(jí)成 , 使傳感(gǎn)器的量(liang)程比大(dà)大提高(gāo)
  - 傳(chuan)感器的(de)零點穩(wěn)定度高(gao)
  - 全(quan)量程高(gāo)穩定性(xìng)
  - 全(quán)量程高(gao)精确度(du)和優良(liáng)的重複(fú)性
  - 低功耗(hao)
  - 低(di)壓損
  - 響應(ying)時間快(kuài)

機(ji)械尺寸(cun)：

主要(yao)參數：

性(xing)能參數(shù)	FS4001		單位
通(tong) 徑	1.0	1.8	mm
大流(liú)量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(cheng)比	>100：1
精 度(dù)	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xìng)	0.25		%讀數
零(ling)點輸出(chū)飄移	±30		mV
輸(shu)出飄移(yí)	±0.12		%/oC
響應時(shí)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuo)電源	8~18Vdc,50mA
輸(shu)出方式(shi)	線性，RS232/模(mo)拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc
大流量(liàng)壓損	350	300	pa
大(da)工作壓(yā)力	0.5		MPa
工作(zuo)溫度	-10 ~ +55		oC
存(cún)儲溫度(du)	-20 ~ +65		oC
工作濕(shi)度	<95%RH（無結(jie)冰、無凝(níng)露）
機械(xie)接口	可(ke)拆式軟(ruǎn)管接頭(tóu)
校準方(fang)式	空氣(qì)（或其他(ta)氣體），20oC，101.325kPa
重(zhòng)量	15		g